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由于側重點不同，各國制造商和計量標準部門對三坐標測量機提出了若干份計量標準。在各國的標準中，高精密2.5D測量儀，所推薦使用的標準器也是不完全相同，可以根據測量目的和要求加以選擇。
標準三坐標測量機所用的標準器種類繁多，在周期校準中，通常采用的標準器是雙屏激光干涉儀、量塊、步距規等。在中間檢查中通常采用的標準器是量塊、步距規、球板、孔板、標準球、球棒、環規、3D標準器等。下面介紹常用的三種標準器。
一、量塊
量塊是對三坐標測量儀進行示值誤差校準時常用的實物標準器。它的優點是使用廣泛、安裝操作簡便、溯源能力強、準確度高；缺點是測量時間長、大測量長度只有1m。
用量塊測量時，需將選取的不同長度的量塊安裝在專用支架上，使量塊的方向與要測量的軸或空間方向一致。專用支架上有可調節的支撐點，安裝量塊時應該注意將量塊支承在離兩端0.2113L（L為量塊長度）的支承位置上，以保證量塊的兩個測量面相互平行。
測量結果中應引入標準量塊修正量和溫度偏離20℃時的溫度修正。
二、球板
標準規范中引入了球板作為長度測量不確定度評 價的一種可選擇的工具。它的優點是操作簡便、快速，溯源能力強，球板是二維標準器，可獲得比一維標準器更豐富的信息，如對25個球的球板進行測量，可以得 到300個長度測量值，對25個球的球板進行兩個相交位置的測量將得到600個測量數據。通過球心距的測量可以計算得到三坐標測量機所有幾何參數。球板的 校準方法并不復雜，但校準的不確定度比量塊差，同時球板的大和小長度尺寸受到限制。球板對較低準確度的中小型坐標測量機是可選的標準器。
使用球板作為標準器，巫溪2.5D測量儀，是通過計算點間距離進行長度測量示值誤差的校準。
常用的球板為5行x5列，240mmx240mm，332mmx332mm，532mmx532mm。大的球板可制成1mx1m，2.5D測量儀方法，有17行x17列標準球。球板為鋼制材料，標準球為陶瓷材料制成，通過液氮冷卻技術將陶瓷卡緊固定。標準球在球板的兩面均可探測到。
三、雙頻激光干涉儀
雙頻激光干涉儀是一種高準確度、便攜式的干涉測量儀器。由于其信號的抗干擾能力較強，結構緊湊、信號穩定，不僅可在實驗室條件下使用，2.5D測量儀維護，也適用于車間現場， 其測量長度可達十幾米乃至幾十米。此外，它的使用范圍也廣泛，除測長外，如配以相應的光學附件，還可以進行直線度、小角度、平面度、速度、平行度的測量， 也可以用來校準三坐標測量機三個運動方向的垂直度等。是精密機械、船舶和飛機制造業中大尺寸精密測量的不可缺少的精密儀器，技術相當成熟。
雙頻激光干涉儀的特點是測量準確度高，儀器固有系統誤差僅 為0.1Lum（L為測量長度，單位是m），測量范圍大，測量數據豐富，適合測量三坐標測量機各項幾何誤差。但設備昂貴需要專門配備，技術性強，對操作人 員要求高，較費時，并且對測量任務不能直接溯源，較適合三坐標測量機的出廠驗收檢測和對大型三坐標測量機示值誤差的附加校準。
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1全自動影像測量儀是建立在CCD數位影像的基礎上，依托于計算機屏幕測量技術和空間幾何運算的強大軟件能力而產生的。計算機在安裝上專用控制與圖形測量軟件后，變成了具有軟件靈魂的測量大腦，是整個設備的主體。它能快速讀取光學尺的位移數值，通過建立在空間幾何基礎上的軟件模塊運算，瞬間得出所要的結果；并在屏幕上產生圖形，供操作員進行圖影對照，從而能夠直觀地分辨測量結果可能存在的偏差。
全自動影像測量儀憑借強大的性能，使其在各種精密電子、晶圓科技、鋰電、刀具、塑膠、精密零件、彈簧、沖壓件、接插件、模具、二維抄數、繪圖、工程開發、五金塑膠、PCB板、導電橡膠、粉末冶金、螺絲、鐘表零件、手機、 工業、光纖器件、汽車工程、航天航空、高等院校、科研院所等領域具有廣泛運用空間。
無論是缺陷分析系統還是測量檢測系統，其核心部分是圖像的采集，而采集離不開照明系統，所以，好的照明系統直接關系到系統的成敗，其重要性無論如何強調都是不過分的，選到合適正確的光源能夠使我們得到一幅好的圖像，這樣使圖像中的目標信處與背景信息得到z佳分離，從而大大降低圖像處理的算法難度，同時提高系統的精度與可靠性
2光源的控制，對影像測量儀的測量效果十分重要。較好的光照控制可以更精準的測出產品的數據。現代技術中有三種主要光照方式：輪廓光、表面光、同軸光等方式照射。
首先來介紹輪廓光照，影像測量儀生產廠商，輪廓光是從工件下方給予平行光照。通過入射光的照射，可以清晰的看到工件的輪廓信息，所以被稱為輪廓光照也是有這個原因。光照原理是：透光的部分呈現出白色；不透光部分呈現出黑色。這樣就可以得到鮮明的黑白圖像。其次還有表面光照，表面光照是在工件上方給予環形或點狀光照。通過多方位的光源照射，可以給予工件充足光照，所以這種同側光照比較常用。另外還有同軸光照方式，影像測量儀維修，同軸光照通過反射原理，利用半反射鏡，讓光照與相機軸同方向照到工件表面。只有垂直于相機的光線才能通過，不垂直的不能通過。因此對于具有鏡面特征的扁平工件，影像測量儀價格，這種光照的測量效果很好。源興的影像測量儀產品中，綜合了各類客戶需求，并結合各種產品光照需求特點，提供了三種光照方式相結合的光源控制。多種光照方式和多方位光照，提高了測量精度，保證了檢測質量。
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